Thermo Fisher Scientific · Apreo S SEM
İSTE-BTM Binası · Sorumlu: Hasan KÖSEOĞLU
Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM), numune yüzeyinin yüksek büyütme ve çözünürlükte görüntülenmesini ve aynı zamanda kimyasal bileşiminin analiz edilmesini sağlayan ileri düzey bir mikroskopi tekniğidir. Merkezimizde bulunan Thermo Fisher Scientific Apreo S, alan emisyonlu elektron tabancasına (FEG) sahip, yüksek performanslı bir SEM sistemi olup 1 kV’da 1 nm görüntü çözünürlüğü sunmaktadır. Geniş çalışma voltaj aralığı ve gelişmiş dedektör altyapısı sayesinde çok farklı numune türlerinin ayrıntılı karakterizasyonuna olanak tanır.
SEM’de, elektron kaynağından üretilen elektronlar vakum altında bulunan bir kolon içerisinde elektromanyetik ve elektrostatik mercekler yardımıyla odaklanarak numune yüzeyine yönlendirilir. Elektron demetinin numune yüzeyindeki atomlarla etkileşimi sonucunda ikincil elektronlar, geri saçılan elektronlar ve karakteristik X-ışınları oluşur.
•İkincil elektronlar (SE) numunenin yüzey topoğrafyası hakkında bilgi sağlar.
•Geri saçılan elektronlar (BSE), farklı atom numaralarına sahip bölgeler arasındaki kontrast farkı sayesinde kimyasal bileşim farklılıklarının belirlenmesinde kullanılır ve aynı zamanda EBSD analizi ile kristalografik yapı bilgisi elde edilmesini sağlar.
•Numune–elektron etkileşimi sonucu oluşan X-ışınları, EDS dedektörü ile toplanarak Enerji Dağılımlı X-Işını Spektroskopisi (EDS) ile elementel analiz yapılmasına imkân tanır.